Coherent imaging of nanostructures in a low-energy scanning electron microscope with an area detector of electrons
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
Výzkumné granty 8 (SAV02008-A)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
IAA100650803
Alternative language
Project name in Czech
Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů
Annotation in Czech
Bude studován mechanismus vzniku kontrastu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů, založený na rozdílech v rozdělení signálních elektronů mezi jednotlivými body povrchu objemového vzorku. Signální elektrony vycházející zevzorku pod různými úhly budou zpracovány vhodnou elektrostatickou elektronovou optikou a zobrazeny na mnohokanálový plošný detektor. Metoda bude ověřena pozorováním difrakčního kontrastu na čistých površích, kontrastu s dělenou amplitudou na tenkých vrstvách a kontrastu mezi různě dopovanými oblastmi polovodiče. Pro experimenty použijeme nově navržený optický systém s katodovou čočkou pro zbrždění elektronů primárního svazku na velmi nízkou energii, s Wienovým filtrem pro odklonění signálních elektronůod optické osy a s elektrostatickými transportními čočkami. Pro detekci signálních elektronů bude použit ztenčený ze zadní strany přímo elektrony bombardovaný CCD.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The very-low energy SEM was newly designed, the experiments with angular distribution of the signal electrons were done, the new method of the specimen bias control in the cathode lens was implemented, the modified Schottky electron emitters were made.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2008
Realization period - end
Dec 31, 2010
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 9, 2010
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP11-AV0-IA-U/02:2
Data delivery date
Jun 28, 2013
Finance
Total approved costs
2,864 thou. CZK
Public financial support
2,864 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK