New elements for the separation and detection of electrons in a very low energy SEM
Project goals
The aim of the submitted project is the study of the electron optical properties of detection system in a low energy scanning electron microscope consisting of a Wien filter and an electrostatic transport optics. The project involves both theoretical andexperimental investigation of the behaviour of the Wien filter. We will perform accurate computations of electron optical properties and aberrations for primary and signal beams, and we will study the behaviour of the signal beam on passing through an electrostatic transport optics in order to characterize their effect on angular and energy distribution of electrons in the signal beam. The measurement of the optical properties of the detector arrangement will be performed in an UHV system with a pointelectron projection.
Keywords
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
—
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Nové prvky pro separaci a detekci elektronů v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů
Annotation in Czech
Cílem předkládaného projektu je studium elektronově optických vlastností Wienova filtru a jejich důsledky pro separaci signálních elektronů od primárního svazku v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Projekt zahrnuje studium detailního chování Wienova filtru jak teoreticky, tak experimentálně. Provedeme přesný výpočet elektronově optických vlastností a vad pro primární a signální svazek a budeme sledovat chování signálního svazku při průchodu elektrostatickou přenosovou soustavou zaWienovým filtrem a určíme vliv obou optických soustav na úhlové a energiové rozložení částic signálního svazku. Měření bude prováděno v ultravakuové aparatuře s projekční soustavou používající bodový zdroj elektronů.
Scientific branches
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Byla provedena konstrukce a výroba dílů pro ultravakuovou aparaturu pro experimentální studium vlastností Wienova filtru. Bylyprovedeny teoretické výpočty chování filtru a odchylovače. Dosud se však nepodařilo získat experimentální výsledky.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1998
Realization period - end
Jan 1, 2000
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/AV0/AV01IA/U/N/4:2
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,425 thou. CZK
Public financial support
526 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Recognised costs
1 425 CZK thou.
Public support
526 CZK thou.
0%
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
CEP
BH - Optics, masers and lasers
Solution period
01. 01. 1998 - 01. 01. 2000