Study of the optical properties of the separator of primary and backscattered electrons in the scanning electron microscope

Provider

Academy of Sciences of the Czech Republic

Programme

Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic

Call for proposals

—

Main participants

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Studium optických vlastností separátoru primárních a zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu

Annotation in Czech

V rámci doktorské disertační práce navrhovatele byl pro detekci v LVSEM vybaveném katodovou čočkou navržen a testován separátor primárních a signálních elektronů, které mají téměř stejnou energii. Cílem projektu je pokračování ve studiu optických vlastností dvoupatrového separátoru signálních elektronů působícího na svazek primárních elektronů, které jsou zaostřené na vzorek. Rekonstrukce separátoru s cílem dosáhnout vyšších mechanických přesností a tedy i lepších optických vlastností a srovnat praktické výsledky se spočtenými.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BH - Optics, masers and lasers

CEP - secondary branch

—

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Realization period - beginning

Jan 1, 1997

Realization period - end

Jan 1, 1997

Project status

J - One year project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1997/AV0/AV07IA/V/9:4

Data delivery date

—

Total approved costs

50 thou. CZK

Public financial support

50 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK