Intelligent micro and nano structures for microsensors realized with support of nanotechnology
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 12 (SGA02009GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
102-09-1601
Alternative language
Project name in Czech
Inteligentní mikro a nano struktury pro mikrosenzory realizované s využitím nanotechnologií
Annotation in Czech
Projekt je zaměřený na výzkum nových typů mikrostruktur s diamantovými vrstvami a perspektivními materiály AIIIBV pro využití v průmyslu, ochraně životního prostředí, biomedicíně a měřicí technice. Nanokrystalické diamantové vrstvy jsou určené pro integrované inteligentní tenzometry pracujících při extrémně vysokých teplotách. Součástí cílů je ověření technologické realizovatelnosti, ideálně na křemíkovém substrátu, zejména selektivní růst diamantu s následnou dotací a vytvoření vhodného kontaktovacíhosystému se stabilními parametry zejména při vysokých teplotách. Při řešení zlepšování vlastností mikrostruktur jsou využívány poznatky z nanotechnologií. Výzkum vlastností mikro a nanostruktur a jejich přípravy pro inteligentní mikrosenzory je zaměřen na oblast depozice uhlíkových kompozitů, nejčastěji ve formě uhlíkových nanotrubic a nanovláken. Výzkum mikrostruktury s piezoelektrickým materiálovým systémem AlGaN/GaN případně InAlN/GaN je určený pro inteligentní mikrosenzor plynu se SAW principem. Oblast využití uvedené struktury je v extrémních podmínkách při vysokých teplotách 500 oC až 1000 oC. Výzkum interface pro mikrostruktury doplňuje řešenou problematiku z hlediska jejich využití pro senzory.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The objectives of this IMINAS project concerning the research on intelligent sensor micro and nanostructures have been all reached. During the 4 year project period, new sensor knowledge and expertise within relevant applications have been obtained in both laboratories. The results were published in 4 impacted journals and many conference proceedings. The project is thus assessed as fulfilled.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2009
Realization period - end
Dec 31, 2012
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 1, 2012
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP13-GA0-GA-U/02:3
Data delivery date
May 17, 2016
Finance
Total approved costs
6,460 thou. CZK
Public financial support
6,460 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK