Smart microsensors and microsystems for measurement, control and environment
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 2 (SGA02003GA-ST)
Main participants
České vysoké učení technické v Praze / Fakulta elektrotechnická
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Inteligentní mikrosenzory a mikrosystémy pro měření, regulaci a životní prostředí
Annotation in Czech
Navrhovaný projekt řeší komplexně vývoj, (návrh, simulace, modelování, realizace a testování) nových typů inteligentních mikrosenzorů a mikrosystémů a jejich podstatných součástí využitelných v biomedicíně, biochemii, regulaci, životním prostředí, ale ivmnoha dalších odvětvích. V projektu je řešen vývoj a využití několika typů inteligentních mikrosenzorů a součásti mikrosystému: Integrovaný mikrosenzor na bázi Si a GaAs určený pro měření vysokofrekvenčního výkonu, matice mikrosenzorů pro detekci UVzáření, mikrosenzor pro měření mechanické deformace při vyšších teplotách, mikrosenzory s vodivostním a optochemickým principem určené pro monitorování kontaminace životního prostředí, teplotní senzor s optoelektronickým principem pro prostředí smikrovlnnýmzářením, inteligentní mikrosenzorový systém pro stanovení obsahu těžkých kovů s realizací v tlustovrstvové technologii a v podobě přenosného přístroje připojitelného k PC, integrovaný autonomního mikronapájecí zdroj pro mikrosenzory a
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
MEMS Thermal Converter -fabricated on GaAs substrate, characterization of dynamic properties in dependence on RF power, MEMS structure interface width electronic circuits realized in HEMT technology, polyimide mechanical fixation, 3-D models calibration.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2003
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-GA0-GA-U/07:6
Data delivery date
Jan 15, 2009
Finance
Total approved costs
5,305 thou. CZK
Public financial support
3,980 thou. CZK
Other public sources
1,325 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK