Electron litograph upgrade (ELito)
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Vysoké učení technické v Brně
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Úprava elektronového litografu (ELito)
Annotation in Czech
Cílem projektu je vývoj zařízení pro řízení elektronového litografu, který pak bude dále používán pro vývoj a prototypovou výrobu mikrosystémů. Toto zařízení sestává z části koprocesoru litografu a z části programového vybavení. Projekt je orientován naaplikovaný výzkum, jeho výsledky jsou však nezbytným předpokladem pro výzkum základní. Ve společné laboratoři navrhovatele (FEI VUT a spolunavrhovatele (ÚPT AV ČR) jsou umístěny dva elektronové litografy: vývojový prototyp litografu BS 600 a průmyslový litograf BS 601. Navrhovaný projekt inovace řídící části litografu slibuje za použití přiměřených prostředků zlepšení některých zásadních parametrů litografu, zvýšení spolehlivosti systému, zlepšení opakovatelnosti expozice, podstatné zjednodušení práce uživatele, přenesení části rutinní práce při návrhu expozice z uživatele na programové vybavení, rozšíření počtu možných vstupních formátů dat a tím i počtu možných aplikací litografu, a další drobné pozitivní změny. Výsledkem úspěšné realizace projektu b
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Zlepšena funkčnost el. litografu. Údaje jsou odpovídající. Výsledek je přínosem pro mikroelektroniku, mikrosystémy, nanotechniku i pro výchovu studentů. Projekt má odpovídající publikační výstupy.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1997
Realization period - end
Jan 1, 1998
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
801 thou. CZK
Public financial support
674 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK