A study of impulse plasmatic systems for deposition of thin layers with applications in photonics
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 19 (SGA0201500001)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.<br>Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta<br>Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
15-00863S
Alternative language
Project name in Czech
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Annotation in Czech
Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project fulfilled the set goals and substantially exceeded expected journal publications output. The project resulted in a number of new findings in the area of advanced photosensitive thin layer deposition methods and development of diagnostics of these processes. Results of the project are inspiring for further study in this area either in the direction of basic or applied research.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2015
Realization period - end
Dec 31, 2017
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 27, 2017
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP18-GA0-GA-U/02:1
Data delivery date
May 4, 2018
Finance
Total approved costs
7,640 thou. CZK
Public financial support
7,640 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK