Quantitative imaging of beam sensitive samples using correlative signal detection in a cryo-SEM
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 21 (SGA0201700001)
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
17-15451S
Alternative language
Project name in Czech
Kvantitativní zobrazování radiačně senzitivních vzorků pomocí korelativní detekce signálů v cryo-SEM
Annotation in Czech
Podrobná analýza vzorků citlivých na ozáření elektronovým svazkem v rastrovacím elektronovém mikroskopu (SEM) je v mnoha případech kompromisem mezi dostatečným signálem a nenávratným poškozením vzorku. Použití vysokých proudů, které jsou pro některé analýzy nezbytné, způsobuje jejich destrukci. Kvantitativním hodnocením interakce elektronů s povrchem vzorků je možno stanovit hranici vzniku signifikantního poškození, které může vést k nesprávné interpretaci obrazu nebo naměřených dat. Náplní projektu je výzkum v oblasti pokročilých detekčních systémů v SEM, který povede k vývoji nové metody, jež bude zahrnovat kvantitativní zobrazování a korelaci jednotlivých signálů vznikajících zejména při interakci elektronového svazku s materiálem citlivým na radiační poškození v teplotním rozsahu od pokojových teplot do teplot získaných chlazením tekutým héliem. Důraz je kladen na zpracování vzorků pomocí mrazových technik, kde lze předpokládat uchování struktur blízkých jejich nativnímu stavu. Součástí projektu je vývoj experimentálních aparatur a software, poté ověření metody na řadě vzorků.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - secondary branch
JC - Computer hardware and software
CEP - another secondary branch
JD - Use of computers, robotics and its application
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering<br>20204 - Robotics and automatic control<br>20205 - Automation and control systems<br>20206 - Computer hardware and architecture
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project objectives concerning the research on novel method for quantitative imaging using signal correlation of electrons and photons in SEM, under cryo temperatures and specifications (CT, STEM, cryo-SEM and others), have been reached and results obtained. The results were published in 5 impacted journals and several conference papers. The project was successfully resolved.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2017
Realization period - end
Dec 31, 2019
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 10, 2019
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP20-GA0-GA-U/02:1
Data delivery date
Jul 23, 2020
Finance
Total approved costs
6,426 thou. CZK
Public financial support
6,081 thou. CZK
Other public sources
345 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK