Design of novel functional materials, and pathways for their reactive magnetron sputtering, using advanced computer simulations
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 23 (SGA0201900001)
Main participants
Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
19-14011S
Alternative language
Project name in Czech
Design nových funkčních materiálů, a cest pro jejich reaktivní magnetronové naprašování, pomocí pokročilých počítačových simulací
Annotation in Czech
Předmětem projektu je využití pokročilých počítačových simulací pro design (i) nových funkčních materiálů a (ii) cest pro jejich přípravu ve formě tenkých vrstev pomocí magnetronového naprašování. Bude využita řada moderních simulačních technik, od (i) modelování plazmatu a jeho interakcí s povrchy přes (ii) ab-initio popis povrchu rozprašovaných terčů a (iii) reprodukci růstu vrstev pomocí klasické molekulární dynamiky (včetně vývoje vlastních interakčních potenciálů) po (iv) ab-initio výpočty struktur a vlastností krystalických i amorfních materiálů. Teoretický výzkum bude probíhat ve stejné oblasti jako a v přímé souvislosti s paralelnim experimentálním výzkumen, od diagnostiky plazmatu přes klasické reaktivní magnetronové naprašování po pokročilé techniky jako je vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování s pulzní kontrolou toku reaktivního plynu. Studované materiály budou zahrnovat (i) požadované ale obtížně připravitelné fáze oxidů kovů, (ii) multikomponentí nitridy a (iii) oxynitridy.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
OECD FORD - main branch
20506 - Coating and films
OECD FORD - secondary branch
—
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
JK - Corrosion and material surfaces
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The elaborated theoretical models and their validation on selected materials significantly extend the basic knowledge of processes in magnetron sputtering. The results find application in vacuum technology of thin films.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2019
Realization period - end
Dec 31, 2021
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 30, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP22-GA0-GA-U
Data delivery date
Jun 29, 2022
Finance
Total approved costs
5,092 thou. CZK
Public financial support
4,762 thou. CZK
Other public sources
330 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK