Pulsed Magnetron Sputtering to Deposition of Diamond-Like Carbon Films with Low Internal Stresses
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Pulzní magnetronové naprašování pro depozici diamantu podobných uhlíkových vrstev s nízkým vnitřním pnutím
Annotation in Czech
Pulzní magnetronové naprašování pro depozici diamantu podobných uhlíkových (DLC) vrstev s nízkým vnitřním pnutím. Vysoká hustota plazmatu urychluje syntézu a kondenzaci vrstvy díky zvýšené koncentraci vysokoenergetických reaktivních částic a iontů v plazmatu. Nežádoucím důsledkem toho bývá přehřívání katody a substrátu. Vývoj technologie směřuje k používání pulsního modu místo nepřerušovaného doutnavého výboje, aby se zamezilo uvedené komplikaci. Pulzní magnetronové naprašování je univerzálnější alépe řiditelný proces než odpařování obloukem a je produktivnější než odpařování laserem. Obě metody mohou též používat pulzní plazma. Při magnetronovém výboji je uskutečnitelný jak režim s extrémě vysokým výkonem, tak i režim s vysokou pulzní amplitudouprouduv poměru k jeho střední hodnotě. Stávající komerční naprašovací zařízení Leybold bude dovybaveno pulzním modulátorem a silnějším stejnosměrným zdrojem, aby bylo možno dosáhnout pulzní amplitudy proudu až 30 A. Studium charakteristik magnetronového
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
In frame of the project, the pulse modulator consisting of a pulse generator and a circuit based on capacitor energy storage and switch IGBT transistor has been incorporated between existing continuous DC power source and magnetron of the vacuum plant Le
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2002
Realization period - end
Jan 1, 2004
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7
Data delivery date
Jun 2, 2008
Finance
Total approved costs
2,631 thou. CZK
Public financial support
2,047 thou. CZK
Other public sources
584 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK