Mass and energy analysis of the particle flow in low-temperature plasma based deposition of thin films
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Hmotnostní a energetická analýza toku částic při vytváření tenkých vrstev metodami nízkoteplotního plazmatu
Annotation in Czech
Předkládaný projekt si klade za cil ozřejmit elementární chemicko-fyzikální procesy během nanášení tenkých vrstev pomoci vybraných metod používajících nízkoteplotní plazma. Nejprve bude analyzováno reaktivní magnetronové naprašování nanokompozitních vrstev (W-Ti-N, Ni-Ti-N) ze slitinového terče ve směsi argonu a dusíku. Za tím účelem bude komora nevyváženého planárního magnetronu vybavena hmotovým spektrometrem s energetickým rozlišením Hiden EQP500. Chemické složení a energetické rozdělení toku částicna podložku bude změřeno v závislosti na parametrech výboje (tlak, složení plynu, výbojový proud, vzdálenost od katody ). Bude zjištěn stupeň radiální homogenity toku částic Budou nalezeny dominantní částice pro růst vrstvy a hlavni složka toku iontu. Bude učiněn pokus nalézt vztah mezi vlastnostmi toku částic a vlastnostmi naprašovaných vrstev. V dalším kroku bude hmotová spektrometrie s energetickým rozlišením použita pro charakterizaci nove vyvíjeného naprašovacího zdroje s plazmatem buzeným
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JI - Composite materials
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
V rámci řešení projektu byly získány nové poznatky z oblasti vytváření tenkých vrstev WTi, WTiN, TiN, TiO, TiC:H a vrstev tvrdého uhlíku. Při nanášení tenkých vrstev byly použity magnetronové naprašování a plazmově aktivovaná depozice z plynné fáze. Bylo
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1999
Realization period - end
Jan 1, 2002
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2003/GA0/GA03GA/U/N/9:7
Data delivery date
May 19, 2008
Finance
Total approved costs
1,661 thou. CZK
Public financial support
666 thou. CZK
Other public sources
1,636 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK