Application of the probe and mass-spectrometric methods to the study of the elementary processes in low-temperature and technologically oriented plasma
Project goals
We shall further develop experimentally and theoretically the Langmuir probe method with the aim to interpret the data from probe measurements also at more complicated conditions typical for plasma-chemical reactors. It is envisaged to utilise the resultof the preceding grant of the Grant Agency of the Czech Republic (GACR) and to continue in the study of the direction-resolved distribution function of electrons in magnetron plasma and its comparison with the theoretical model. We also aim at modellingthe charged particles motion in the glow discharge in the cylindrical magnetron system with the goal to more deeply understand the processes going on in technologically oriented plasma-chemical systems. Further it will be developed the probe theory at medium pressures of the order of units of kPa, especially by using the Monte Carlo and the Particle-In-Cell models. The models will be compared with experiments with the goal to work out the probe method for measurement of the positive and the negative
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)
Main participants
Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Aplikace sondových a hmotově-spektrometrických metod pro studium elementárních procesů v nízkoteplotním a technologicky orientovaném plazmatu
Annotation in Czech
Bude dále experimentálně i teoreticky rozvinuta metoda Langmuirovy sondy s cílem interpretovat data ze sondových měření i ve složitějších podmínkách plazmochemických reaktorů. Předpokládá se využití výsledků předchozího grantu GAČR a pokračování ve studirozdělovací funkce elektronů se směrovým rozlišením v plazmatu magnetronu a srovnání s teoretickým modelem. Modelovat se bude rovněž pohyb nabitých částic v doutnavém výboji v systému válcového magnetronu s cílem hlouběji porozumět procesům probíhajícímtechnologicky orientovaných plazmochemických systémech. Dále se bude rozvíjet teorie sondy za středních tlaků v řádu jednotek kPa, zejména pomocí Monte Carlo a particle-in-cell modelů, a jejich srovnáním s experimentem s cílem vypracovat metodiku na měření koncentrace kladných a záporných iontů pomocí sondy za těchto podmínek. K interpretaci sondových dat významně přispěje znalost zastoupení jednotlivých iontů ve studovaném plazmatu, změřená pomocí hmotového spektrometru v systémech stacionárního a
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BE - Theoretical physics
CEP - another secondary branch
—
10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Odborné cíle projektu byly aktuální a byly konkrétně formulovány. Dosažené výsledky mají vynikající vědeckou úroveň, což dokazují jak mimořádně kvalitní publikace založené na výsledcích projektu, tak ohles ve vědecké komunitě (zvané přednášky, vyžádaný p
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2000
Realization period - end
Jan 1, 2002
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2003/GA0/GA03GA/U/N/9:7
Data delivery date
May 19, 2008
Finance
Total approved costs
2,507 thou. CZK
Public financial support
1,967 thou. CZK
Other public sources
810 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
2 507 CZK thou.
Public support
1 967 CZK thou.
78%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution period
01. 01. 2000 - 01. 01. 2002