The Langmuir probe method for diagnostic of low-temperature plasma in technological applications
Project goals
The probe method is still the often used diagnostic method in technological applications of low-temperature plasma. The plasma parameters evalsuated from the probe data are, however, often inaccurate due to the fact that for the real condition of a particular application (e.g. the higher pressure or the presence of a magnetic field) the appropriate probe theory is not available. The presented grant proposal will solve the problem of charged particles collection by Langmuir probe in isothermal as well asin non-isothermal low-temperature plasma at medium presssures, at the presence of magnetic field and further at conditions when the probe surface is being covered by conducting or non-conducting material. Similar conditions exist in real plasma-chemicalreactors. The used methods are theoretical and experimental. Theoretically we shall study the charged particles collection by the probe at medium pressures and at the presence of magnetic field by the numerical modeling using the Monte Carlo method on t
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Metodika Langmuirovy sondy pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu v technologických aplikacích
Annotation in Czech
Sondová diagnostika je stále velmi často používanou diagnostikou plazmatu při jeho technologických aplikacích. Parametry plazmatu vyhodnocené ze sondových dat jsou však často zatíženy chybou plynoucí z faktu, že pro reálné podmínky aplikace (např. vyššítlak nebo přítomnost magnetického pole) není dostupná teorie sběru nabitých částic sondou. Předkládaný projekt bude řešit problém sběru nabitých částic na Langmuirovu sondu v izotermickém a neizotermickém plazmatu za středních tlaků, za přítomnosti magnetického pole a dále v podmínkách, kdy dochází k naprašování vodivého, případně nevodivého materiálu na povrch sondy. Podobné podmínky existují v reálných plazmochemických reaktorech. Použité metody jsou teoretické a experimentální. Teoreticky bude studován problém sběru nabitých částic na sondu za středních tlaků a za přítomnosti magnetického pole a to numerickým modelováním metodou Monte Carlo na pracovišti spoluřešitele projektu. Problém naprašování materiálu na sondu bude řešen novou konstrukcí sondy
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
BE - Theoretical physics
CEP - another secondary branch
—
10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Odborný přínos projektu je významný. Řešení vycházelo z jasně formulovaného záměru a konkrétně stanovených cílů, které byly beze zbytku splněny. Probíhalo na vysoké odborné úrovni, v rozsáhlé spolupráci se zahraničními pracovišti. Tématika projektu je ak
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1997
Realization period - end
Jan 1, 1999
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2000/GA0/GA00GA/U/6:2
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,786 thou. CZK
Public financial support
801 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Recognised costs
1 786 CZK thou.
Public support
801 CZK thou.
0%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution period
01. 01. 1997 - 01. 01. 1999