All
All

What are you looking for?

All
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

A study of multilayers of ultra-thin films using X-ray photoelectron spectroscopy and x-ray reflectivity

Project goals

The project proposal suggests to study multilayers of ultra-thin films with an overall thickness below 10 nm by two complementary non-destructive techniques, such as Angle Resolved XPS (AR XPS) and X-ray Optical Reflectivity (XRR). While the latter technique has already become popular in analysis of multilayers, until now AR XPS has not been used yet in depth profiling of multilayers. To improve depth resolution accuracy of AR XPS (needed for multilayer analysis), a maximum entropy method which is robust to experimental noise and not restricted to small numbers of components will be used for deconvolution of composition depth profiles of multilayers. Applying these two complementary experimental methods, the accuracy of the analysis might be significantly improved. This is especially true for materials, atoms of which chemically react in the area of interfaces and form complex chemical compounds and structures. In the case of successful implementation of this novel approach, geometrical and

Keywords

Public support

  • Provider

    Czech Science Foundation

  • Programme

    Standard projects

  • Call for proposals

    Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

  • Main participants

    Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství

  • Contest type

    VS - Public tender

  • Contract ID

Alternative language

  • Project name in Czech

    Studium ultratenkých multivrstev užitím fotoelektronové spektroskopie a optické reflexe rtg. záření

  • Annotation in Czech

    Předkládaný projekt navrhuje studium ultratenkých multivrstev s celkovou tloušťkou pod 10 nm pomocí komplementárního použití dvou nedestruktivních analytických metod, a to úhlově selektivní fotoelektronové spektroskopie (AR XPS) a optické reflexe rtg. záření (XRR). Zatímco XRR se stala populární metodou v analýze multivrstev, AR XPS nebyla dosud použita pro hloubkové profilování v této oblasti. Aby se zvýšilo hloubkové rozlišení AR XPS (což je potřebné pro analýzu multivrstev), bude použita pro dekonvoluci hloubkového profilu chem. složení metoda založená na principu maximální entropie analyzovaných dat. Tato metoda umožňuje získávat profily i z velmi slabých signálů a není omezena malým počtem prvků, jejichž profily chceme získat. Použitím těchto dvouanalytických metod se může výrazně zvýšit přesnost analýzy. To platí zvláště v případě materiálů, jejichž atomy vzájemně chemicky reagují v oblasti rozhraní a tvoří složité chemické sloučeniny a struktury. V případě úspěšného zvládnutí tohoto

Scientific branches

  • R&D category

    ZV - Basic research

  • CEP classification - main branch

    BM - Solid-state physics and magnetism

  • CEP - secondary branch

  • CEP - another secondary branch

  • 10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    In accordance with the project objectives  the method of angle-resolved  photoelectron spectroscopy (AR XPS) utilizing the principle of maxima entropy for  depth profile reconstruction of ultrathin films and multilayers  has been developed. A detailed st

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2002

  • Realization period - end

    Jan 1, 2004

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7

  • Data delivery date

    Jun 2, 2008

Finance

  • Total approved costs

    2,600 thou. CZK

  • Public financial support

    1,729 thou. CZK

  • Other public sources

    871 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK

Basic information

Recognised costs

2 600 CZK thou.

Public support

1 729 CZK thou.

66%


Provider

Czech Science Foundation

CEP

BM - Solid-state physics and magnetism

Solution period

01. 01. 2002 - 01. 01. 2004