Examination of nanostructures by electron beam
Project goals
Newly developed principale of the scanning electron microscope (SEM) with the cathode lens enables one to image the specimen within full scale of electron energies with nearly unchanged image resolution, In the very low energy range (units to hundreds ofeV), not available in classical SEM (units to tens of keV), new contrasts appear that reflect local chemical, crystallinic and electronic structures of the specimen. The interpretation is hence often ambiguous. Important alternative is a combination with a complementary technique, particularly with the scanning Auger electron microscopy revealing the elemental composition within a depth similar to that of the low energy SEM. In the project frame an ultrahigh vacuum apparatus with a field-emission electron gun will be completed with both methods implemented at the image resolution in the nm range. The elaborated method will be applied to examination of selected semiconductor structures, multilayers and composites based on metal alloys.
Keywords
low energy scanning microscopyAuger electron microscopycompositesmetal alloysultrahigh vaccumfield emission
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
The research grant projects for juniors
Call for proposals
Juniorské badatelské grantové projekty 2 (SAV02004-J)
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Studium nanostruktur elektronovým svazkem
Annotation in Czech
Nově vyvinutý princip rastrovacího elektronového mikroskopu (REM) s katodovou čočkou dovoluje zobrazit vzorek v celém rozsahu energií elektronů s téměř neměnným rozlišením obrazu. V oblasti velmi nízkých energií (jednotky až stovky eV), které nejou k dispozici v klasickém REM (jednotky až desítky keV), je pozorována řada nových kontrastů, na jejichž tvrobě se účastní kolální chemická, krystalická i elektronická struktura vzorku. Interpretace je proto mnohdy nejednoznačná. Důležitou alternativou je kombinace s vhodnou komplementární technikou, zejména s rastrovací mikroskopií Augerovými elektrony pro zjištění lokálního prvkového složení do hloubky podobné rozsahu REM s pomalými elektrony. V rámci projektu bude dokončena ultravysokovakuová aparatura s autoemisním zdrojem elektronů, která umožní srovnání obou metod s prostorovým rozlišením v řádu nm. Po vypracování metody budou studovány vybrané polovodičové struktury, multivrstvy a kompozity na bázi kovových slitin.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
JI - Composite materials
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
20201 - Electrical and electronic engineering
20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)
Completed project evaluation
Provider evaluation
N - Nesplněno zadání
Project results evaluation
Early completed - long term stay in the abroad.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2004
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
S - Stopped (prematurely terminated) multi-year project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-AV0-KJ-U/07:5
Data delivery date
Feb 12, 2014
Finance
Total approved costs
902 thou. CZK
Public financial support
902 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
902 CZK thou.
Public support
902 CZK thou.
100%
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
CEP
BM - Solid-state physics and magnetism
Solution period
01. 01. 2004 - 01. 01. 2005