Examination of a solid surface to very low energy scanned electron beam illumination under high lateral resolution

Provider

Czech Science Foundation

Programme

Standard projects

Call for proposals

—

Main participants

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Zkoumání látek v rastrovacím elektronovém mikroskopu s vysokým rozlišením s velmi pomalými elektrony

Annotation in Czech

Cílem projektu je zkoumání čistých povrchů v tlaku 10-8 Pa , jejich defektů a povrchů s pokrytím méně než jednoatomovou vrstvou pomocí rastrovacího elektronového mikroskopu ( REM ) s energií elektronů od několika set elektronvoltů do téměř nulové energie, a to s vysokým prostorovým rozlišením. Dalším cílem je získání obrazu zadní ohniskové roviny objektivové čočky, který obsahuje informaci o úhlovém rozložení emise a poskytuje tedy signál světlého a temného pole ( difraktované svazky ) v REM s velmi pomalými elektrony.

R&D category

—

CEP classification - main branch

BE - Theoretical physics

CEP - secondary branch

BG - Nuclear, atomic and molecular physics, accelerators

CEP - another secondary branch

—

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)<br>10304 - Nuclear physics

Realization period - beginning

Jan 1, 1995

Realization period - end

Jan 1, 1997

Project status

K - Ending multi-year project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1997/GA0/GA07GA/V/9:7

Data delivery date

—

Total approved costs

878 thou. CZK

Public financial support

878 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK