Direct imaging of the dopant distribution in a semiconductor by means of low energy clectrons
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
102/05/2327
Alternative language
Project name in Czech
Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů
Annotation in Czech
Cílem projektu je vypracovat model mechanismu tvorby kontrastu obrazu v sekundárních elektronech (SE) v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM) při zobrazování dopované oblasti na povrchu polovodiče nebo na příčném řezu mnohavrstvou strukturou. Stávající model, založený na lokálních rozdílech ionizační energie, nedokáže vysvětlit pozorované jevy, zejména závislost kontrastu na vakuových podmínkách v mikroskopu. Je třeba prostudovat vliv přítomnosti velmi tenkých povrchových vrstev, mj. vrstvy uhlovodíků rozkládajících se pod dopadem elektronového svazku. Experimenty budou probíhat na dopovaných substrátech vystavených různým vakuovým podmínkám a pozorovaných pomocí klasického REM i REM s katodovou Čočkou pro mikroskopii pomalými elektrony. Povrchy budou studovány pomocí Augerových elektronů, a to jak v původním stavu, tak i po odstranění povrchových vrstev. Bude také studován vliv sběrové účinnosti detektoru SE a tedy vliv elektrických a magnetických polí v oblasti vzorku na konečný
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
JJ - Other materials
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project aimed at investigation of mechanism of the contrast generation in secondary electron images in the scanning electron microscope when examining doped areas of semiconductors, and at compiling a model of the mechanism or at correcting the exist
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2005
Realization period - end
Dec 31, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 2, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP08-GA0-GA-U/04:3
Data delivery date
Dec 16, 2008
Finance
Total approved costs
2,675 thou. CZK
Public financial support
1,675 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
1,500 thou. CZK