Deposition of thin films and surface modifications in silent and glow discharges at atmospheric pressure
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)
Main participants
Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku
Annotation in Czech
Cílem projektu je prozkoumat možnost úpravy povrchů různých polymerů a depozice SiO2, nitridů křemíku a polymerů obsahující křemík v doutnavém výboji za atmosférického tlaku. Tichý výboj, doutnavý výboj a podmínky přechodu mezi nimi budou studovány v různých směsích plynů pomocí elektrického měření, záznamu obrazů digitální kamerou a optickou emisní spektroskopií. Vlastnosti obou druhů výbojů budou srovnávány při úpravě povrchů a při depozici. Obdobné srovnání bude provedeno pro výboje za atmosférickéhotlaku a pro nízkotlaké výboje. Opracované povrchy a nanesené tenké vrstvy budou zkoumány několika různými diagnostickými technikami.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
It has been proven that the atmospheric pressure glow discharge burning in nitrogen can be used for thin film deposition from different monomers (HMDSO, HMDSN, butadiene, ?). The deposited films were homogeneous, polymer-like, with the microhardness up t
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2002
Realization period - end
Jan 1, 2004
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7
Data delivery date
Jun 2, 2008
Finance
Total approved costs
2,770 thou. CZK
Public financial support
2,188 thou. CZK
Other public sources
582 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK