Deposition of Thin Films by Means of Low Energy Focused Ion Beam. A Study of Deposition Processes (of Growth of Layers) in Situ.
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Vysoké učení technické v Brně
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Depozice tenkých vrstev fokusovaným iontovým svazkem o nízké energii. Studium depozičních procesů (růstu vrstev) in situ.
Annotation in Czech
Úkolem projektu je dokončit stavbu zařízení pro aplikace fokusovaného iontového svazku s energií 50 V- 5keV v oblasti modifikace povrchu a depozice tenkých vrstev při tlacích pod 10 mb,jakož i pro studium depozičních procesů a analýzu povrchů (vrstev) metodami založenými na emisi sekundárních iontů a rozptylu dopadajících iontů (SIMS,LEISS).Aplikační část projektu bude věnována naprašování a přímé depozici tenkých vrstev s vybranými polovodivými, optickými a mechanickými vlastnostmi.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - another secondary branch
9N - 9
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1994
Realization period - end
Jan 1, 1996
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1997/GA0/GA07GA/V/9:7
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
527 thou. CZK
Public financial support
804 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK