Deposition of thin films in dielectric barrier discharges at atmospheric pressure
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 9 (SGA02006GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
202/06/1473
Alternative language
Project name in Czech
Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
Annotation in Czech
Cílem projektu je studium depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích hořících za atmosférického tlaku. Pro depozice budou zvoleny takové typy výboje, které produkují homogenní plazma, aby rovněž deponované vrstvy byly homogenní. Budoustudovány možnosti depozice tenkých vrstev se specifickými vlastnostmi, např. vysoká tvrdost a otěruvzdornost vrstev atd. Vlastnosti výbojů budou charakterizovány pomocí elektrických měření a optické emisní spektroskopie. Připravené tenké vrstvy budou zkoumány různými diagnostickými metodami - morfologie povrchu bude studována pomocí AFM a SEM, chemické složení vrstev pomocí XPS a RBS, dále bude měřena mikrotvrdost, modul pružnosti vrstev a povrchová energie vrstev.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Homogeneous dielectric barrier discharge burning in nitrogen at atmospheric pressure was used for the thin film deposition from different monomers (hexamethyldisiloxane - HMDSO, tetraethoxysiloxane - TEOS, propane-butane). Glass, silicon and polycarbonat
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2006
Realization period - end
Dec 31, 2008
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 25, 2008
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP09-GA0-GA-U/02:2
Data delivery date
Oct 22, 2009
Finance
Total approved costs
2,642 thou. CZK
Public financial support
2,642 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK