Diagnostics of medium pressure and magnetised low-temperature plasma
Project goals
Many technological applications often use the weak magnetic field to direct the plasma to the substrate. The literature covers only partially the interpretation of the Langmuir probe data measured in presence of the magnetic field. The neglecting of thismagnetic field can therefore decrease the precision of the plasma parameters measured by the Langmuir probe. The aim of the suggested project is to find the maximum value of the magnetic field B (in dependence on the pressure and size of the probe) in which the influence of this field is considered to be negligible. We want also to study the influence of the magnetic field to the anisotropy of the electron energy distribution function. Collisions between charged particles and neutral gas particles musbetaken into account in the space charge sheath around the probe at the pressures used in technological systems (the units of Pa). The theories published up to now are only approximative and contain many assumptions fulfilled with difficulties. The subm
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Diagnostika nízkoteplotního plazmatu za středních tlaků a v magnetickém poli
Annotation in Czech
V technologických aplikacích je v současnosti často využíváno plazma směrované slabým magnetickým polem. Problematika interpretace dat naměřených Langmuirovou sondou v plazmatu s magnetickým polem je sice v literatuře rozpracována, ale nelze ji rozhodněpovažovat za jednoduše aplikovatelnou a uzavřenou. Zanedbání magnetického pole pak může mít nepříznivý vliv na přesnost parametrů plazmatu stanovených sondovou metodou v plazmatu s magnetickým polem. Navrhovaný projekt si proto klade za cíl nalézt maximální magnetické pole v závislosti na tlaku a rozměrech sondy, při kterém je možné ještě považovat vliv tohoto pole na sondová měření při vhodné orientaci osy sondy za zanedbatelný. Bude se rovněž sledovat vliv magnetického pole na anizotropii rozdělovacífunkce elektronů v co nejširším rozsahu experimentálních podmínek. Při tlacích používaných v technologických systémech (od cca jednotek Pa ) je již nutné brát v úvahu vliv srážek nabitých částic s neutrálním plynem ve vrstvě prostorového nábo
Scientific branches
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Závěrečná karta projektu je úplná, údaje v ní uvedené odpovídají skutečnosti. Výsledky projektu byly publikovány v dostatečné míře jak v recenzovaných časopisech, tak na významných mezinárodních konferencích. Řešení projektu probíhalo v souladu s grantov
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1997
Realization period - end
Jan 1, 1999
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
354 thou. CZK
Public financial support
354 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Recognised costs
354 CZK thou.
Public support
354 CZK thou.
0%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution period
01. 01. 1997 - 01. 01. 1999