The design of the system for study of the electron energy distribution function during the creation of thin film by means of plasma polymeration
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Přírodovědecká fakulta
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Vývoj aparatury pro studium elektronové distribuční funkce při vytváření tenkých povlaků metodou plazmové polymerizace
Annotation in Czech
Koncentrace elektronů a jejich energetická rozdělovací funkce jsou jedním z řídících faktorů plasmových procesů a tudíž jejich znalost je podstatná pro pochopení základních mechanismů procesů, jejich modelování i následné up-scaling. Klasickou metodou pro stanovení elektronové distribuční funkce je Langmuirovská sonda, jejíž výhodou oproti jiným metodám je relativní jednoduchost a prostorová rozlišitelnost. Její použití v depozičních systémech je však komplikováno v důsledku depozice vrstev na povrchuelektrod umístěných do plazmatu. Cílem navrhovaného projektu je vývoj metodiky na bázi elektrostatické sondy umožňující stanovení elektronové distribuční funkce procesu plazmové polymerizace a studium závislosti této funkce na externích parametrech procesu(nastavený tlak a výkon, složení pracovního plynu). V rámci projektu bude vyvinut nový systém na bázi trojice sond. Princip tohoto systému byl popsán v literatuře původně pro diagnostiku induktivně vázaného výboje, jeho využití je však univerzáln
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JK - Corrosion and material surfaces
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20506 - Coating and films
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Byla vyvinuta elektronická aparatura s řídících softwarem, umožňující diagnostiku plazmatu metodou trojice sond a metodou jedné Langmuirovské sondy v procesu plazmového naprašování. Charakteristika odpovídá dosaženým výsledkům. Výsledky projektu naleznou
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1998
Realization period - end
Jan 1, 2000
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,251 thou. CZK
Public financial support
881 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK