The design of the system for study of the electron energy distribution function during the creation of thin film by means of plasma polymeration
Project goals
The electron density and the electron energy distribution function (EEDF) are examples of the key parameters that govern the plasma process. Hence the knowlege of these parameters is substantial for understanding of its fundamental mechanisms, its modeling and subsequent up-scaling. Classical method for the determination of the EEDF is the Langmuir probe. Its advantge in comparison with other methods is its comparative simplicity and comparative good spatial resolution. However, application of thimethodduring plasma polymerization is accomplished with deposition of dielectric films on all elecrodes in contact with the plasma, so that the conventional probe method is not applicable. The goal of the proposed project is the development of the methobasedon the electrostatic probe that would enable the determination of the EEDF inthe process of plasma polymerization and the study of its dependence onthe external parameters of the polymerization process such as incident power, pressure and flow of t
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
—
Main participants
Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Přírodovědecká fakulta
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Vývoj aparatury pro studium elektronové distribuční funkce při vytváření tenkých povlaků metodou plazmové polymerizace
Annotation in Czech
Koncentrace elektronů a jejich energetická rozdělovací funkce jsou jedním z řídících faktorů plasmových procesů a tudíž jejich znalost je podstatná pro pochopení základních mechanismů procesů, jejich modelování i následné up-scaling. Klasickou metodou pro stanovení elektronové distribuční funkce je Langmuirovská sonda, jejíž výhodou oproti jiným metodám je relativní jednoduchost a prostorová rozlišitelnost. Její použití v depozičních systémech je však komplikováno v důsledku depozice vrstev na povrchuelektrod umístěných do plazmatu. Cílem navrhovaného projektu je vývoj metodiky na bázi elektrostatické sondy umožňující stanovení elektronové distribuční funkce procesu plazmové polymerizace a studium závislosti této funkce na externích parametrech procesu(nastavený tlak a výkon, složení pracovního plynu). V rámci projektu bude vyvinut nový systém na bázi trojice sond. Princip tohoto systému byl popsán v literatuře původně pro diagnostiku induktivně vázaného výboje, jeho využití je však univerzáln
Scientific branches
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
Byla vyvinuta elektronická aparatura s řídících softwarem, umožňující diagnostiku plazmatu metodou trojice sond a metodou jedné Langmuirovské sondy v procesu plazmového naprašování. Charakteristika odpovídá dosaženým výsledkům. Výsledky projektu naleznou
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1998
Realization period - end
Jan 1, 2000
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,251 thou. CZK
Public financial support
881 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Recognised costs
1 251 CZK thou.
Public support
881 CZK thou.
0%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BL - Plasma physics and discharge through gases
Solution period
01. 01. 1998 - 01. 01. 2000