All
All

What are you looking for?

All
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

The design of the system for study of the electron energy distribution function during the creation of thin film by means of plasma polymeration

Project goals

The electron density and the electron energy distribution function (EEDF) are examples of the key parameters that govern the plasma process. Hence the knowlege of these parameters is substantial for understanding of its fundamental mechanisms, its modeling and subsequent up-scaling. Classical method for the determination of the EEDF is the Langmuir probe. Its advantge in comparison with other methods is its comparative simplicity and comparative good spatial resolution. However, application of thimethodduring plasma polymerization is accomplished with deposition of dielectric films on all elecrodes in contact with the plasma, so that the conventional probe method is not applicable. The goal of the proposed project is the development of the methobasedon the electrostatic probe that would enable the determination of the EEDF inthe process of plasma polymerization and the study of its dependence onthe external parameters of the polymerization process such as incident power, pressure and flow of t

Keywords

Public support

  • Provider

    Czech Science Foundation

  • Programme

    Standard projects

  • Call for proposals

  • Main participants

    Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Přírodovědecká fakulta

  • Contest type

  • Contract ID

Alternative language

  • Project name in Czech

    Vývoj aparatury pro studium elektronové distribuční funkce při vytváření tenkých povlaků metodou plazmové polymerizace

  • Annotation in Czech

    Koncentrace elektronů a jejich energetická rozdělovací funkce jsou jedním z řídících faktorů plasmových procesů a tudíž jejich znalost je podstatná pro pochopení základních mechanismů procesů, jejich modelování i následné up-scaling. Klasickou metodou pro stanovení elektronové distribuční funkce je Langmuirovská sonda, jejíž výhodou oproti jiným metodám je relativní jednoduchost a prostorová rozlišitelnost. Její použití v depozičních systémech je však komplikováno v důsledku depozice vrstev na povrchuelektrod umístěných do plazmatu. Cílem navrhovaného projektu je vývoj metodiky na bázi elektrostatické sondy umožňující stanovení elektronové distribuční funkce procesu plazmové polymerizace a studium závislosti této funkce na externích parametrech procesu(nastavený tlak a výkon, složení pracovního plynu). V rámci projektu bude vyvinut nový systém na bázi trojice sond. Princip tohoto systému byl popsán v literatuře původně pro diagnostiku induktivně vázaného výboje, jeho využití je však univerzáln

Scientific branches

  • R&D category

  • CEP classification - main branch

    BL - Plasma physics and discharge through gases

  • CEP - secondary branch

    JK - Corrosion and material surfaces

  • CEP - another secondary branch

  • 10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
    20506 - Coating and films

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

  • Project results evaluation

    Byla vyvinuta elektronická aparatura s řídících softwarem, umožňující diagnostiku plazmatu metodou trojice sond a metodou jedné Langmuirovské sondy v procesu plazmového naprašování. Charakteristika odpovídá dosaženým výsledkům. Výsledky projektu naleznou

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 1998

  • Realization period - end

    Jan 1, 2000

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP/2001/GA0/GA01GA/U/N/9:4

  • Data delivery date

Finance

  • Total approved costs

    1,251 thou. CZK

  • Public financial support

    881 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK

Recognised costs

1 251 CZK thou.

Public support

881 CZK thou.

0%


Provider

Czech Science Foundation

CEP

BL - Plasma physics and discharge through gases

Solution period

01. 01. 1998 - 01. 01. 2000