Accurate measurement of vapour pressure of metal organic precursors
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 6 (SGA02004GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Přesné měření tlaku nasycených par organokovových sloučenin
Annotation in Czech
Přesná znalost tlaku nasycených par organokovových prekursorů je nezbytná pro optimalizaci MOVPE, hlavní epitaxní technologie pro přípravu polovodičových struktur pro optoelektroniku a vysokorychlostní elektroniku. Hodnoty tlaku nasycených par řady běžněužívaných prekursorů uváděné v literatuře se často značně liší, žádné evropské ani světové pracoviště se však systematickým měřením fyzikálně-chemických vlastností těchto látek nezabývá. Získání přesných dat vyžaduje, s ohledem na reaktivitu měřených látek, podstatné zlepšení technického vybavení i správný metodický přístup. Pro měření tlaku nasycených par organokovových prekursorů je, vzhledem k jejich pyroforní povaze, nejvhodnější statická metoda. Statická aparatura na VŠCHT Praha má parametry zaručujících spolehlivé výsledky: malý vnitřní objem; elektrochemicky leštěný vnitřní povrch stěn potrubí a výkonné turbomolekulární vývěvy, což významně minimalizuje adsorpci látek na vnitřních površích aparatury; přesný diferenční manometr MKS
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
CF - Physical chemistry and theoretical chemistry
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10403 - Physical chemistry<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Three static apparatuses for the measurement of saturated vapour pressure of various metal-organic precursors have been designed and constructed covering the temperature range from -50 to 200 °C and pressure range from 0.1 Pa to 13 kPa. Many of these pre
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2004
Realization period - end
Jan 1, 2006
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP07-GA0-GA-U/03:2
Data delivery date
Oct 16, 2007
Finance
Total approved costs
1,982 thou. CZK
Public financial support
1,846 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
205 thou. CZK