Measurement of vapour pressure of metal organic and related precursors for use in nanostructure production
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 11 (SGA02008GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
203/08/0217
Alternative language
Project name in Czech
Měření tenze par organokovových a dalších prekurzorů využitelných pro přípravu nanostruktur
Annotation in Czech
Přesná znalost tlaku nasycených par organokovových prekursorů jako jsou karbonyly, acetylacetonáty či metaloceny je nezbytná pro řízení a modelování růstu polovodičových a kovových vrstev, nanostruktur i nanočástic. Tyto struktury jsou nezastupitelné v optoelektronice a vysokorychlostní elektronice, při přípravě nových polovodičových, dielektrických, magnetických a keramických materiálů, při katalýze i dalších chemických procesech. Hodnoty tlaku nasycených par prekursorů uváděné v literatuře se často navzájem značně liší nebo nejsou známy vůbec. Statické aparatury pro měření tlaku nasycených par na VŠCHT Praha a ve FZÚ AV ČR, v.v.i. (pro jedovaté a nebezpečné materiály) byly vyvinuty s ohledem na reaktivitu měřených látek a jejich nízkou tenzi. Cílempředloženého projektu je změřit a kriticky zhodnotit data o tlaku nasycených par organokovových sloučenin a dalších prekursorů obsahujících Ni, Fe, Mn, In, Sb a Li, které jsou používané a vyvíjené pro MOVPE a CVD.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
CF - Physical chemistry and theoretical chemistry
CEP - secondary branch
CI - Industrial chemistry and chemical engineering
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10403 - Physical chemistry<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20401 - Chemical engineering (plants, products)<br>20402 - Chemical process engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The goal of this project was to measure the vapor pressures (VP) of metal-organic (MO) precursors used for MOVPE which are of interest to the electronics and optoelectronic industries. The VP measurements of MO precursors present many challenges becausemany are pyrophoric, toxic, and also very expensive. No commercial equipment is available for these measurements and one has to design and build
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2008
Realization period - end
Dec 31, 2010
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 16, 2010
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP11-GA0-GA-U/03:3
Data delivery date
Feb 9, 2015
Finance
Total approved costs
2,177 thou. CZK
Public financial support
2,177 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK