All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

IR laser induced chemical vapour deposition of Si2O and Si2O :H films.Studies on preparation and properties of novel semiconductor materials.

Public support

  • Provider

    Czech Science Foundation

  • Programme

    Standard projects

  • Call for proposals

  • Main participants

    Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.

  • Contest type

  • Contract ID

Alternative language

  • Project name in Czech

    Laserově iniciovaná chemická depozice Si2O a Si2O:H filmů z plynné fáze. Studium přípravy a vlastnostní nových polovodičových materiálů

  • Annotation in Czech

    Předmětem výzkumu je laserový rozklad disilyletheru (DSE) a depozice dosud nepopsaných Si2O a Si2O:H materiálů. Laserový rozklad bude iniciován infračerveným zářením TEA i cw CO2 laserů jako multifotonová disociace a homogenní thermolýza. Budou studoványfyzikální vlastnosti Si2O a Si2O:H materiálů a jejich chemické reakce. Proces chemické depozice bude optimalizován studiem vztahů mezi mechanismem rozkladu DSE a vlastnostmi deponovaných materiálů.

Scientific branches

  • R&D category

  • CEP classification - main branch

    CF - Physical chemistry and theoretical chemistry

  • CEP - secondary branch

    JH - Ceramics, fire-proof materials and glass

  • CEP - another secondary branch

    JJ - Other materials

  • OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    10403 - Physical chemistry<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20504 - Ceramics<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    Záměry tohoto experimentálního projektu byly v zásadě splněny. Byly získány kvalitativně nové informace o podmínkách laserového fotolytického deponování filmů Si/C/O, resp. Si2O:H a o charakteristikách těchto filmů. Navíc byla studována fotolýza disiloxa

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 1996

  • Realization period - end

    Jan 1, 1998

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6

  • Data delivery date

Finance

  • Total approved costs

    2,647 thou. CZK

  • Public financial support

    1,705 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK