IR laser induced chemical vapour deposition of Si2O and Si2O :H films.Studies on preparation and properties of novel semiconductor materials.

Provider

Czech Science Foundation

Programme

Standard projects

Call for proposals

—

Main participants

Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.

Contest type

—

Contract ID

—

Project name in Czech

Laserově iniciovaná chemická depozice Si2O a Si2O:H filmů z plynné fáze. Studium přípravy a vlastnostní nových polovodičových materiálů

Annotation in Czech

Předmětem výzkumu je laserový rozklad disilyletheru (DSE) a depozice dosud nepopsaných Si2O a Si2O:H materiálů. Laserový rozklad bude iniciován infračerveným zářením TEA i cw CO2 laserů jako multifotonová disociace a homogenní thermolýza. Budou studoványfyzikální vlastnosti Si2O a Si2O:H materiálů a jejich chemické reakce. Proces chemické depozice bude optimalizován studiem vztahů mezi mechanismem rozkladu DSE a vlastnostmi deponovaných materiálů.

R&D category

—

CEP classification - main branch

CF - Physical chemistry and theoretical chemistry

CEP - secondary branch

JH - Ceramics, fire-proof materials and glass

CEP - another secondary branch

JJ - Other materials

OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

10403 - Physical chemistry<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20504 - Ceramics<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Provider evaluation

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Project results evaluation

Záměry tohoto experimentálního projektu byly v zásadě splněny. Byly získány kvalitativně nové informace o podmínkách laserového fotolytického deponování filmů Si/C/O, resp. Si2O:H a o charakteristikách těchto filmů. Navíc byla studována fotolýza disiloxa

Realization period - beginning

Jan 1, 1996

Realization period - end

Jan 1, 1998

Project status

U - Finished project

Latest support payment

—

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data delivery code

CEP/1999/GA0/GA09GA/V/6:6

Data delivery date

—

Total approved costs

2,647 thou. CZK

Public financial support

1,705 thou. CZK

Other public sources

0 thou. CZK

Non public and foreign sources

0 thou. CZK