Laser induced decomposition of monoorganylsilanes for chemical vapour deposition of Si/C/H materials.
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
—
Main participants
Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.
Contest type
—
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Laserový rozklad monoorganylsilanů pro depozici Si/C/H materiálů
Annotation in Czech
Předmětem výzkumu je syntéza a laserový rozklad (LR) řady monoorganylsilanů RSiH3, R = C2H5, C2H3, C2H, ClCH=CH2, CH2=CHCH2, C6H5 a ClCH2. LR bude iniciován infračerveným i ultrafialovým zářením a umožní provést chemickou depozici Si/C/H materiálů (na rozmanitých substrátech) z plynné fáze. Lze očekávat, že tyto materiály budou vykazovat slibné vlastnosti (šíře optického pásu, morfologie, stechiometrie) pro použití v mikro- a optoelektronice. Proces chemické depozice bude optimalizován studiem vztahu mezi chemickým mechanismem reakcí v plynné fázi a vlastnostmi deponovaných materiálů.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
JH - Ceramics, fire-proof materials and glass
CEP - secondary branch
CH - Nuclear and quantum chemistry, photo chemistry
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10402 - Inorganic and nuclear chemistry<br>20504 - Ceramics
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1995
Realization period - end
Jan 1, 1997
Project status
K - Ending multi-year project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/1997/AV0/AV07IA/V/9:4
Data delivery date
—
Finance
Total approved costs
1,198 thou. CZK
Public financial support
1,198 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK