New perspectives in microwave plasma synthesis of doped diamond
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
SGA0202100005
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
21-03538S
Alternative language
Project name in Czech
Nové perspektivy v syntéze dopovaného diamantu v mikrovlnné plazmě
Annotation in Czech
Přidaní aktivních příměsí, tj. dopování, je klíčovou technologií ve vývoji budoucích vysoce elektronických a kvantových zařízení na bázi diamantu. Syntéza dopovaného diamantu pomocí plazmové chemické depozice z plynné fáze (PECVD) dosáhla svého limitu pomocí konvenčních růstových parametrů. Zde navrhujeme rozšířit dopovací limity diamantu a porozumět vztahu mezi vlastnostmi plazmy a vlastnostmi dopovaného diamantu pomocí nového procesního parametru: času. Bylo prokázáno, že časově kontrolována, tj. pulsní, mikrovlnná energie zlepšuje růst a vlastnosti PECVD diamantu. Budeme studovat vliv kontrolovaného pulsního přidávání prekurzorových plynů (PH3, B2H6 nebo B (CH3) 3 a N2) a kyslíku na chemické reakce a vlastnosti plazmy optickou emisní spektroskopií a její dopad na vlastnosti diamantů dopovaných dusíkem, bórem a fosforem za použití zavedených metod charakterizace dostupných ve Fyzikálním ústavu AV ČR. Tato práce umožňuje nové pochopení PECVD mechanismů růstu dopovaných diamantů.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
OECD FORD - main branch
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
OECD FORD - secondary branch
—
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BM - Solid-state physics and magnetism
Solution timeline
Realization period - beginning
Jul 1, 2021
Realization period - end
Dec 31, 2024
Project status
K - Ending multi-year project
Latest support payment
Mar 6, 2023
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP24-GA0-GA-R
Data delivery date
Feb 19, 2024
Finance
Total approved costs
8,980 thou. CZK
Public financial support
8,731 thou. CZK
Other public sources
249 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK