Coherent EUV light source for compact lens-less microscopy and precision metrology
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
SGA0202500001
Main participants
České vysoké učení technické v Praze / Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
25-17853S
Alternative language
Project name in Czech
Koherentní zdroj EUV záření pro kompaktní bezčočkovou mikroskopii a precizní metrologii
Annotation in Czech
Cílem tohoto projektu je vývoj a aplikace nového kompaktního zdroje koherentního záření v extrémní ultrafialové (EUV) části spektra s délkou impulzů v řádech femtosekund. Využijeme k tomu nedávno navrženou metodu pokročilé fázové synchronizace pro generování jediné vysoké harmonické frekvence dosahující vlnových délek, které jsou klíčové pro přesnou metrologii přístrojů na EUV litografii v polovodičovém průmyslu i pro základní vědecký výzkum. Každá fáze vývoje zdroje, s postupně se zkracující vlnovou délkou, bude následována jeho experimentální validací v kompaktní bezčočkové mikroskopii, která představuje první použití námi vyvinutého zdroje. Konečným cílem projektu je dosáhnout prostorového rozlišení mikroskopu pod 20 nm s koherentním zdrojem emitujícím na vlnové délce 13,5 nm. Navržené technické řešení zároveň umožní rozšíření naší metody do oblasti vodního okna, které poskytuje excelentní kontrast při mikroskopii živých tkání v jejich přirozeném prostředí, a zároveň zaručí škálovatelnost pro použití s budícími lasery s mnohem vyšším středním výkonem.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
OECD FORD - main branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - secondary branch
—
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BH - Optics, masers and lasers
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2025
Realization period - end
Dec 31, 2027
Project status
Z - Beginning multi-year project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP25-GA0-GA-R
Data delivery date
Feb 25, 2025
Finance
Total approved costs
6,990 thou. CZK
Public financial support
6,990 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK