Advanced experimental research of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 15 (SGA02012GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
P205-12-0908
Alternative language
Project name in Czech
Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev
Annotation in Czech
Tento projekt se zaměřuje na růst nanokrystalického diamantu (NCD) z par plynů (CVD) v mikrovlnném plazmatickém systému s lineárními anténami v kombinaci s charakterizací a matematickým modelováním plazmatu. Jako nukleační vrstva budou použity diamantovénanočástice nebo tenké polymerní vrstvy. Parametry CVD procesu (tlak, složení plynů, frekvence a střída mikrovlnných pulzů a teplota substrátu) budou systematicky zkoumány a optimalizovány z pohledu rychlosti růstu a kvality NCD vrstev (tj. chemická čistota, morfologie, velikost zrn). Projekt se také věnuje charakterizaci plazmatického systému v konfiguraci lineárních antén (tzv. plazma s povrchovou vlnou) pomocí časově rozlišené sondové diagnostiky, optické emisní spektroskopie a měření iontového a tepelného toku. Inovativnost projektu spočívá v matematickém modelování uvedeného mikrovlnného systému, v kterém jako vstupní data budou použity procesní parametry a naměřené charakteristiky plazmatu. Tento základní výzkum poskytne komplexní pochopení dějůpři růstu NCD vrstev za nízkých tlaků na velkých plochách.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JJ - Other materials
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project contributed to advance in substrate nucleation and synthesis of NCD films, diagnostics and modelling of relevant plasmas. Description of results is adequate. One student was trained and the results are prospective for technology and diagnostics. Publication outputs of the project are adequate, no financial issues were observed.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2012
Realization period - end
Dec 31, 2014
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 2, 2014
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP15-GA0-GA-U/01:1
Data delivery date
May 22, 2015
Finance
Total approved costs
3,409 thou. CZK
Public financial support
3,409 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK