Micro- and nanomachining structures fabricated by microelectronics technologies
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Standardní projekty 7 (SGA02004GA1PD)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Mikro- a nanostruktury realizované v mikroelektronických technologiích
Annotation in Czech
Navrhovaný projekt umožní zavedení nových technologií ve stávající laboratoři tenkých vrstev Ústavu mikroelektroniky. Přinese technologické spojení více laboratoří se zaměřením na techniky pro výrobu mikro- a nanosystému pro senzorovou techniku a pro výrobu integrovaných obvodu. Hlavním přínosem bude také zpřístupnění této technologie pro potřeby českých, ale i zahraničních vědeckých pracovišť. Budou vyvinuty techniky umožňující realizaci systémů MEMS za pomocí zcela nových nanostrukturovaných materiálůa zvláštní pozornost bude věnována využití těchto materiálů a postupu jejich výroby při realizaci masek integrovaných obvodu s cílem snížit tloušťku cáry pod 100 nm. Očekává se výzkum a vývoj technik depozice kovu za použití nanostrukturní masky, jež umožní modifikaci povrchu (např. elektrod), kde se předpokládá zlepšení parametru planární formy realizace, dále pro vytváření nanokrystalu pro potřeby solární techniky, depozice oxidu pro senzory plynu nebo elektronické nosy apod.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project was focused on finding techniques for nanostructures fabrication through templates and on the creation of a network of cooperative working groups of ASCR. The first step was mastering of nanoporous template fabrication as well as its creation
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2004
Realization period - end
Jan 1, 2006
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP07-GA0-GP-U/03:2
Data delivery date
Oct 16, 2007
Finance
Total approved costs
925 thou. CZK
Public financial support
925 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK