All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Synthesis of novel defects in silicon by ion irradiation for future application in semiconductor technology.

Public support

  • Provider

    Czech Science Foundation

  • Programme

    Post-graduate (doctorate) grants

  • Call for proposals

    Postdoktorandské granty 8 (SGA02008GA1PD)

  • Main participants

  • Contest type

    VS - Public tender

  • Contract ID

    102/08/P488

Alternative language

  • Project name in Czech

    Syntéza nových poruch v křemíku pomoci iontového ozářeni pro budoucí aplikace v polovodičové technologii.

  • Annotation in Czech

    Navrhovaný projekt se zaměří na získání detailních vědomostí o vlivu intrinzických poruch (atomy O,C,N) na vznik a tepelnou stabilitu defektů, které vnikají při ozáření křemíku energetickými částicemi  (protony, alfa-částice). Rozšíří tím problematiku studovanou v rámci Centra základního výzkumu LC 06041, jehož infrastrukturu bude využívat. Atomy O,C,N budou do FZ křemíku zaneseny iontovou implantací a jejich následná interakce s radiačními defekty bude sledována elektrickými metodami (DLTS, HVCTS, C-V,I-V) v širokém rozsahu teplot (100 - 700 oC). Současně bude sledován vliv vodíku, zanášeného buď ozářením protony nebo hydrogenací, na tepelnou stabilitu a elektrickou aktivitu vzniklých poruch. Důraz bude kladen na identifikaci nových poruch a mechanizmů jejich vzniku. Dále bude studován vliv vzniklých poruch na elektrické parametry křemíku (generace a rekombinace, dotace) tak, aby poznatky bylo možné použít při vývoji nových radiačně odolných resp. rychlých polovodičových součástek.

Scientific branches

  • R&D category

    ZV - Basic research

  • CEP classification - main branch

    JA - Electronics and optoelectronics

  • CEP - secondary branch

    BM - Solid-state physics and magnetism

  • CEP - another secondary branch

  • OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    The most important results of the project are summarizing as follow: 1)  It was shown that generation rate of thermodonors is enhanced in silicon substrates with higher oxygen concentration. Localization of donor layers is possible in vicinity of protonprojected range even in oxygen-lean FZ material. 2) Hydrogen accelerates annealing of radiation defect

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2008

  • Realization period - end

    Dec 31, 2010

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

    Apr 16, 2010

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP11-GA0-GP-U/04:3

  • Data delivery date

    Mar 20, 2015

Finance

  • Total approved costs

    1,460 thou. CZK

  • Public financial support

    1,460 thou. CZK

  • Other public sources

    0 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK