Synthesis of novel defects in silicon by ion irradiation for future application in semiconductor technology.
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Postdoktorandské granty 8 (SGA02008GA1PD)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
102/08/P488
Alternative language
Project name in Czech
Syntéza nových poruch v křemíku pomoci iontového ozářeni pro budoucí aplikace v polovodičové technologii.
Annotation in Czech
Navrhovaný projekt se zaměří na získání detailních vědomostí o vlivu intrinzických poruch (atomy O,C,N) na vznik a tepelnou stabilitu defektů, které vnikají při ozáření křemíku energetickými částicemi (protony, alfa-částice). Rozšíří tím problematiku studovanou v rámci Centra základního výzkumu LC 06041, jehož infrastrukturu bude využívat. Atomy O,C,N budou do FZ křemíku zaneseny iontovou implantací a jejich následná interakce s radiačními defekty bude sledována elektrickými metodami (DLTS, HVCTS, C-V,I-V) v širokém rozsahu teplot (100 - 700 oC). Současně bude sledován vliv vodíku, zanášeného buď ozářením protony nebo hydrogenací, na tepelnou stabilitu a elektrickou aktivitu vzniklých poruch. Důraz bude kladen na identifikaci nových poruch a mechanizmů jejich vzniku. Dále bude studován vliv vzniklých poruch na elektrické parametry křemíku (generace a rekombinace, dotace) tak, aby poznatky bylo možné použít při vývoji nových radiačně odolných resp. rychlých polovodičových součástek.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The most important results of the project are summarizing as follow: 1) It was shown that generation rate of thermodonors is enhanced in silicon substrates with higher oxygen concentration. Localization of donor layers is possible in vicinity of protonprojected range even in oxygen-lean FZ material. 2) Hydrogen accelerates annealing of radiation defect
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2008
Realization period - end
Dec 31, 2010
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 16, 2010
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP11-GA0-GP-U/04:3
Data delivery date
Mar 20, 2015
Finance
Total approved costs
1,460 thou. CZK
Public financial support
1,460 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK