Mechanical properties of Si-B-C-N films formed by reactive magnetron sputtering
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)
Main participants
Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Mechanické vlastnosti vrstev Si-B-C-N vytvářených reaktivním magnetronovým naprašováním
Annotation in Czech
Materiály tvořené bórem, uhlíkem, dusíkem a křemíkem mohou vykazovat velmi vysokou tvrdost díky schopnosti těchto lehkých prvků tvořit krátké kovalentní vazby. Jedním z velmi nadějných nových materiálů tohoto typu je kvaternární systém Si-B-C-N, kterýdosud nebyl připraven metodami fyzikální depozice. Kromě supertvrdosti (tvrdost vyšší než 40 GPa) lze v případě vrstev Si-B-C-N očekávat i odolnost proti velmi vysokým teplotám (až do 2000°C), vysokou otěruvzdornost, nízký koeficient tření, vysokouoptickoupropustnost a velmi dobrou adhezi, které činí tyto materiály mimořádně zajímavými z hlediska průmyslových aplikací (ochranné povlaky, ale i vysokoteplotní polovodiče). Hlavním cílem předkládaného projektu je přispět k objasnění složitých procesůvytvářenítvrdých vrstev Si-B-C-N stejnosměrným magnetronovým rozprašováním složených terčů C-Si-B, resp. B4C-Si ve výbojové směsi N2+Ar zejména s ohledem na komplikované vztahy mezi procesními parametry a prvkovým složením, strukturou a mechanickými
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
JI - Composite materials
CEP - secondary branch
JK - Corrosion and material surfaces
CEP - another secondary branch
JJ - Other materials
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>20506 - Coating and films<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The main objective of the solved project was to contribute to understanding the complex processes of formation of hard Si-B-C-N films by d.c. magnetron sputtering using composed C-Si-B and B4C-Si targets in nitrogen-argon gas mixtures, particularly with
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2002
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-GA0-GP-U/06:6
Data delivery date
May 19, 2008
Finance
Total approved costs
428 thou. CZK
Public financial support
428 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK