Interferometric measurement techniques for nanopositioning
Project goals
The main goal of the project is a fundamental research in the field of interferometric nanoscale measuring systems. It is linked to the currently running grant project of the Academy of Sciences of the Czech Republic no. KAN311610701 under investigationat the Institute of Scientific Instruments ASCR, v.v.i. The effort will be concentrated on the analysis of limits of resolution and uncertainty in the dimensional nanometrology. The main accent will be put on investigation of spectral and noise properties of suitable laser sources, frequency stabilization techniques of these lasers, angular errors influences evaluation and compensation especially in multidimensional coordinate systems and the influence of parameters of the environment. This will represent a background for the introduction of new methods for optimalization and improving of the key parameters of nanoscale interferometric systems together with their direct traceability to the fundamental etalon of length. Results of this project will be an important contribution to the fundamental metrology and national nanometrology.
Keywords
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Postdoktorandské granty 11 (SGA02011GA1PD)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
P102-11-P820
Alternative language
Project name in Czech
Interferometrické měřicí techniky pro nanopolohování
Annotation in Czech
Cílem projektu je prohloubit základní výzkum v oblasti interferometrických odměřovacích systémů vzdáleností s rozlišením v nanometrové oblasti, který na Ústavu přístrojové techniky, v.v.i. probíhá s podporou projektu Grantové agentury Akademie věd č. KAN311610701. Projekt bude zaměřen na nalezení limitů rozlišení a nejistoty měření u těchto odměřovacích systémů. Hlavní pozornost bude věnována výzkumu spektrálních vlastností vhodných zdrojů laserového záření, frekvenční stabilizaci těchto laserů, vlivu úhlových chyb se zaměřením na multidimenzionální systémy a vlivu parametrů okolního prostředí. Tento výzkum povede k novým metodám vylepšujícím a optimalizujícím klíčové parametry nano-interferometrických multidimenzionálních systémů s přímou návazností na základní etalon délky. Výsledky projektu tak budou zásadním vědeckým přínosem k základní metrologii délky i národní nanometrologii.
Scientific branches
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
SHG laser sources with wavelength locking to absorption lines of molecular iodine were built. New types of iodine cells were investigated. Apart from nanopositioning systems, such compact laser sources may find applications in optical communications andspace-borne systems. Results were published in highly impacted journals and presented in prestigious international conferences.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2011
Realization period - end
Dec 31, 2013
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Jun 6, 2013
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP15-GA0-GP-U/02:2
Data delivery date
May 6, 2016
Finance
Total approved costs
2,308 thou. CZK
Public financial support
2,308 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
2 308 CZK thou.
Public support
2 308 CZK thou.
100%
Provider
Czech Science Foundation
CEP
BH - Optics, masers and lasers
Solution period
01. 01. 2011 - 31. 12. 2013