Advanced interferometric systems for measurement in nanotechnology
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development ALFA
Call for proposals
ALFA 2 (STA02012TA02)
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2012TA02010711
Alternative language
Project name in Czech
Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích
Annotation in Czech
Cílem projektu je výzkum a vývoj interferometrických systémů pro měření geometrických veličin. Výzkum v návaznosti na předchozí výsledky výzkumu laserových etalonů délky a metodiky interferometrické metrologie délky bude zaměřen na technologii výroby optických prvků, metodiku interferometrického měření, stabilizaci frekvence laserových zdrojů záření, detekční systémy interferenčního signálu, zpracování signálů, vše s důrazem na nejvyšší přesnost a rozlišení pro využití v měření v nanosvětě.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
CEP - another secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The Opposition Commitee concluded that the project objectives were fully met and that the results obtained were consistent with the original plan. The funds spent correspond to the complexity of the project.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2012
Realization period - end
Dec 31, 2016
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 17, 2016
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP17-TA0-TA-U/01:1
Data delivery date
Jun 30, 2017
Finance
Total approved costs
24,670 thou. CZK
Public financial support
15,372 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
9,298 thou. CZK