Wave-optical contrasts in the scanning electron microscope
Public support
Provider
Academy of Sciences of the Czech Republic
Programme
Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
Call for proposals
—
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Annotation in Czech
Rastrovací elektronový mikroskop (SEM) je tradičně považován za nekoherentně zobrazující zařízení produkující topografický resp. materiálový kontrast v obraze vytvářeném rastrováním po jednotlivých bodech. SEM s pomalými elektrony na bázi katodové čočky,vyvinutý v předchozích projektech, dovoluje použít energie elektronů v řádu jednotek až desítek eV, vhodné pro vznik vlnově optických kontrastů v SEM. Především jde o využití jednotlivých difraktovaných svazků LEED obrazce pro získání informace o lokální krystalické orientaci povrchu a jejím vývoji. Další vlnově optické kontrasty vznikají zachycením interferenčního pole vln odražených od teras po stranách povrchových atomových stupňů, resp. odražených od obou povrchů velmi tenkých povrchových vrstev. Tyto kontrasty lze využít ke studiu raných stádií růstu povrchových vrstev, ke studiu multivrstev (zejména v šikmých řezech) pomocí proužků stejné tloušťky, atd.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Byla navržena a realizována metoda zobrazení vlnově optických kontrastů v rastrovacím elektron.mikroskopu s pomalými a velmi pomalými elektrony s vysokým prostor.rozlišením. Byl studován difrakční kontrast a materiálová hloubková tomografie.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 1999
Realization period - end
Jan 1, 2002
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2003/AV0/AV03IA/U/N/5:3
Data delivery date
Oct 27, 2004
Finance
Total approved costs
4,280 thou. CZK
Public financial support
1,785 thou. CZK
Other public sources
2,495 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK