Development of DUV seed laser for semiconductor lithography using solid-state laser amplifier at 1485 nm
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
1.VS DELTA 2 (STA02019TM010)
Main participants
CRYTUR, spol. s r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
TM01000033 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Vývoj DUV laseru pro polovodičovou litografii s pevnolátkovým předzesilovačem emitujícím na vlnové délce 1485 nm
Annotation in Czech
Cílem projektu je vývoj funkčního vzorku pevnolátkového laserového zesilovače emitujícího ve střední infračervené spektrální oblasti s přeladitelností v intervalu 1 475 - 1 495 nm. Projekt spočívá v identifikaci vhodného aktivního prostředí laseru, vývoji nové geometrie aktivního prostředí pro vysokou tepelnou zátěž, návrhu a stavbě budicího zdroje a stavbě vlastního modulu předzesilovače se zapouzdřením. Indikátorem dosažení cíle je zesílení nanosekundových pulsů s vlnovou délkou 1 485 nm a středním výkonem >5 W. Modul bude integrován jako nanosekundový předzesilovač do komerční DUV excimerové litografické stanice (Gigaphoton, uvedení na trh po roce 2022), popř. bude součástí zákaznických řešení MIR laserů pro biotechnologické a průmyslové aplikace (Hilase, aktivity smluvního výzkumu).
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
OECD FORD - main branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - secondary branch
20501 - Materials engineering
OECD FORD - another secondary branch
20201 - Electrical and electronic engineering
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BH - Optics, masers and lasers<br>JA - Electronics and optoelectronics<br>JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation<br>JG - Metallurgy, metal materials<br>JP - Industrial processes and processing
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The project is evaluated as "successful according to the assignment". It met all the set goals, the output is valuable, technically high-quality and has the potential to succeed on an international scale. Project costs are proportional to the complexity and difficulty of the project output. The project also deepened the cooperation of the Institute of Physics of the Academy of Sciences of the Czech Republic with the hi-tech company Crytur and connected these Czech participants with the Japanese partner, the world's leading laser manufacturer GigaPhoton. In addition, the achieved result of the project, the laser amplifier module, was developed for a specific application, which is a preamplifier for a lithographic device. We can therefore expect the commercial application of the results and thus also the evaluation of the invested funds.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2020
Realization period - end
Dec 31, 2021
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2022
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP22-TA0-TM-U
Data delivery date
Dec 21, 2023
Finance
Total approved costs
16,118 thou. CZK
Public financial support
7,339 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
2,659 thou. CZK