Laser grinding of silicon carbide for high-power semiconductor applications - LaPSiC
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
STA02025TQ160
Main participants
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
TQ16000033 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternative language
Project name in Czech
Laserové broušení karbidu křemíku pro vysoce výkonné polovodičové aplikace - LaPSiC
Annotation in Czech
Cílem projektu je využití vysokoenergetických/vysokovýkonných laserů pro broušení karbidu křemíku (SiC) v polovodičové výrobě. Broušení povrchu SiC se provádí diamantovými kotouči. Vzhledem k tvrdosti SiC je rychlost úběru relativně nízká a úroveň úběru SiC je podobná opotřebení diamantového kotouče. Nové laserové broušení sníží náklady na proces se slibným potenciálem pro zlepšení výtěžnosti, zejména díky snížení prohnutí desek. Tento cíl vyžaduje spolupráci mezi všemi stranami kvůli jeho komplexnosti. onsemi jako konečný uživatel výsledků projektu řídí vývoj tím, že definuje aplikaci s know-how v polovodičových procesech, iDesyn a DEUV mají know-how ke konstrukci systémů pro zpracování SiC desek. HiLASE má know-how vysokoenergetických/vysokovýkonných laserů a aplikačních úprav laserů.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
20501 - Materials engineering
OECD FORD - secondary branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - another secondary branch
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BH - Optics, masers and lasers<br>BM - Solid-state physics and magnetism<br>JG - Metallurgy, metal materials<br>JP - Industrial processes and processing
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2025
Realization period - end
Dec 31, 2027
Project status
Z - Beginning multi-year project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP25-TA0-TQ-R
Data delivery date
Apr 15, 2025
Finance
Total approved costs
26,167 thou. CZK
Public financial support
18,773 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
7,394 thou. CZK