Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00011460" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00011460 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films

Original language description

In this paper the influence of the technological conditions, i.e. As concentration, UV iradiation and anealing, on the optical constants, thickness and material parameters of chalcogenide As-S thin films is studied. For determining the values of the parameters mentioned the optical method based on interpreting experimental data consiting of spectral dependences of the transmittance measured at normal incidence and spectral dependences of the ellipsometric quantities measured for several incidence anglesis used. Within the interpretation of the experimental data the Jellison-Modine dispersion model is employed. It is shown that this dispersion model is not suitable for interpreting the spectral dependences of the transmittance of the films studied. Moreover, within the interpretation of the experimental data the physical model containing on isotropic inhomogeneous layer covered with a non-absorbing overlayer is employed for representing the films under investigation.

Czech name

Vliv složení, exposice a tepelného zahřívání na optické vlastnosti tenkých vrstev As-S chalkogenidů

Czech description

V článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA203%2F00%2F0085" target="_blank" >GA203/00/0085: Optical properties of glasses and amorphous thin films of sulphides and selenides</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of Optoelectronics and Advanced Materials

ISSN

1454-4164

e-ISSN

—

Volume of the periodical

6

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

RO - ROMANIA

Number of pages

10

Pages from-to

139-148

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—