Comparison of effective medium approximation and Rayleigh-Rice theory concerning ellipsometric characterization of rough surfaces

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013547" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013547 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/48399108:_____/05:#0000005

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Comparison of effective medium approximation and Rayleigh-Rice theory concerning ellipsometric characterization of rough surfaces

Original language description

In this paper the theoretical analysis of the correctness of applying the effective medium approximation (EMA) at the ellipsometric studies of rough surfaces is presented. Within this analysis the Rayleigh-Rice theory (RRT) is used to calculate the simulated ellipsometric data of various slightly randomly rough surfaces. This simulated data are treated using the least-squares method for finding the values of the parameters characterizing the rough surfaces within the EMA, i.e. the values of thickness and packing density factor describing a fictitious (effective) thin films replacing these surfaces within the EMA. It is shown that the EMA could be used to interprete the ellipsometric data of the rough surfaces in a correct way if their roughness only contains the high spatial frequencies. For the low spatial frequencies it is shown that the influence of the surface roughness on the ellipsometric quantities is small in contrast to its influence on the reflectance. Moreover, it is shown t

Czech name

Srovnání teorie efektivního prostředí a Rayleigho-Riceovy teorie týkající se elipsometrického studia drsných povrchů

Czech description

V tomto článku je presentována teoretická analýza správnosti aplikace aproximace efektivního prostředí (EMA) při elipsometrických studiích drsných povrchů. V rámci této analýzy Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro výpočet simulovaných elipsometrických dat různě slabě náhodně drsných povrchů. Tato simulovaná data jsou zpracována pomocí metody nejmenších čtverců kvůli nalezení hodnot parametrů charakterizujících drsné povrchy z hlediska EMA, tj. nalezení hodnot tloušťky a faktoru uspořádání popisujících fiktivní (efektivní) tenkou vrstvy nahrazující tyto povrchy v rámci EMA. Je ukázáno, že EMA může být využita k interpretaci elipsometrických dat drsných povrchů správným způsobem, pokud jejich drsnost obsahuje pouze vysoké prostorové frekvence. Pro nízké prostorové frekvence je ukázáno, že vliv povrchové drsnosti je malý ve srovnání s odrazivostí. Navíc je ukázáno, že EMA musí být použita opatrně pro charakterizaci drsných povrchů a že je nemožné kvantitativně srovnávat hodnoty tl

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Development of the methods for characterization of solid state surfaces.</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Optics Communications

ISSN

0030-4018

e-ISSN

—

Volume of the periodical

248

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

9

Pages from-to

459-467

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—