Scanning thermal microscopy - theory and applications
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013549" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013549 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68081723:_____/05:00024665 RIV/48399108:_____/05:#0000007
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Scanning thermal microscopy - theory and applications
Original language description
In this article the theoretical background and some results of the scanning thermal microscopy analysis of artifical structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that at the absence of surface roughness the SThM can be used to obtain reliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way. It is illustrated that this effect can be partially removed by using neural network approach for modelling the thermal signal using the topography data. The illustration of this approach is presented in the analysis of geometry of the examples selected in this article.
Czech name
Rastrovací termální mikroskopie - teorie a aplikace
Czech description
V tomto článkuje uvedena základní teorie a některé výsledky týkající se analýzy umělých struktur pomocí rastrovací termální mikroskopie. Je ukázáno, že v případě nepřítomnosti povrchové drsnosti může být tato experimentální technika využita k obdržení spolehlivých obrazů v materiálovém kontrastu v rámci teplotního i vodivostního módu. Je také ukázáno, že povrchová drsnost a jiné topografické nepravidelnosti mohou ovlivnit termální data výrazným způsobem. Je také ilustrováno, že tento vliv může být částečně odstraněn pomocí využití neuronových sítí při modelování termálních signálů. se započtením topografických dat. Je uvedena i ilustrace tohoto přístupu při analýze geometrie příkladů vybraných pro účely tohoto článku.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Development of the methods for characterization of solid state surfaces.</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Jemná mechanika a optika
ISSN
0447-6441
e-ISSN
—
Volume of the periodical
50
Issue of the periodical within the volume
11-12
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
3
Pages from-to
327-329
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—