Applications of scanning thermal microscopy in the analysis of the geometry of patterned structures

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F06%3A00044322" target="_blank" >RIV/68081723:_____/06:00044322 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00177016:_____/06:#0000306

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Applications of scanning thermal microscopy in the analysis of the geometry of patterned structures

Original language description

In this article, the results of the scanning thermal microscopy (SThM) analysis of artificial structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that in the absence of surface roughness the SThM can be used to obtainreliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way.

Czech name

Použití rastrovací termální mikroskopie při analýzách geometrie struktury mikročipu

Czech description

V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se analýzy umělých struktur pomocí rastrovací termální mikroskopie. Je ukázáno,že v případě nepřítomnosti povrchové drsnosti může být tato technika využita k získání spolehlivých obrazů v materiálovém kontrastu. Rovněž se ukazuje,že povrchová drsnost a jiné topografické nerovnosti mohou ovlivnit termální data výrazným způsobem.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Development of the methods for characterization of solid state surfaces.</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Volume of the periodical

38

Issue of the periodical within the volume

4

Country of publishing house

GB - UNITED KINGDOM

Number of pages

5

Pages from-to

383-387

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—