Thermal stability of the optical properties of plasma deposited diamond-like carbon thin films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00014247" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00014247 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Thermal stability of the optical properties of plasma deposited diamond-like carbon thin films

Original language description

In present paper we studied the optical constants of the diamond-like carbon (DLC) films and their changes with annealing. The multisample modification of combined variable angle spectroscopic ellipsometry and near normal spectroscopic reflectometry wasused. The optical constants of the DLC films were simulated by our recently published six-parameter dispersion model employing a parameterization of the density of electronic states (DOS). Based on the dispersion model parameters the density of and electrons were evaluated. We showed that from our model and the independently determined hydrogen atomic fraction of the films before and after annealing the ratio between momentum matrix elements of pi->pi* and sigma->sigma* transitions and the correct sp3-to-sp2 carbon bonding configuration ratio can be calculated. It is worth to notice that the first quantity is usually assumed to be equal to unity but we showed that this assumption may cause a significant error in the determination of the

Czech name

Termální stabilita optických vlastností diamantu podobných uhlíkových vrstev připravených plazmochemickou depozicí

Czech description

V tomto článku jsme studovali optické konstanty diamantu podobných uhlíkových vrstev (DLC) a jejich změny při zahřívání. Vícevzorková modifikace kombinované víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie byla využitapro tento účel. Optické konstanty DLC vrstev byly simulovány pomocí nedávno publikovaného dispersního modelu o šesti parametrech, který je založen na parametrizaci hustoty elektronových stavů (DOS). Na základě tohoto byly určeny parametry hustoty pí a sigma elektronů. Ukázali jsme, že pomocí našeho modelu a z nezávisle určené vodíkové atomové koncentrace vrstev před a po zahřátí je možné určit poměr mezi elementy momentové matice pi->pi* a sigma->sigma* přechodů a správný poměr sp3-sp2 vazebné konfigurace. Je nutné upozornit, že první veličina je obvykle předpokládána v hodnotě rovné jedné ale my jsme ukázali, že tento předpoklad může způsobit významnou chybu v v určení sp3-sp2 poměru. Naše navržená metoda proto představuje nový příspě

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Diamond and Related Materials

ISSN

0925-9635

e-ISSN

—

Volume of the periodical

14

Issue of the periodical within the volume

11-12

Country of publishing house

US - UNITED STATES

Number of pages

4

Pages from-to

1795-1798

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—