Sheath resistance in RF discharges

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00016420" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00016420 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Sheath resistance in RF discharges
Original language description
The sheath resistance in capacitively coupled discharge was studied. The nonlinearity of the sheath for dc current was proved, i.e. the sheath resistance depended on the dc current flowing through the sheath. It was shown, that the nonlinear behaviour can be used in some cases for the approximate evaluation of the plasma parameters, especially in the sheaths, where the interpretation of the Langmuir probe measurements is not reliable.
Czech name
Odpor stěnové vrstvy ve vysokofrekvenčních výbojích
Czech description
Příspěvek studuje odpor stěnové vrstvy v kapacitně vázaném výboji. Byla pozorována její nelinearita vzhledem ke stejnosměrnému proudu, tj. odpor stěnové vrstvy závisel na procházejícím stejnosměrném proudu. Nelineární chování stěnové vrstvy může být v některých případech využito k přibližnému určení parametrů plazmatu.

Project
<a href="/en/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Advanced topics in physics and chemistry of plasmas</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases
ISBN
2-914771-38-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
299-300
Publisher name
European Physical Society
Place of publication
Itálie, Lecce
Event location
Itálie, Lecce
Event date
Jan 1, 2006
Type of event by nationality
WRD - Celosvětová akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)