Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00017572" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00017572 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon
Original language description
Infrared absorption spectroscopy has been applied to study interstitial oxygen (Oi) and oxygen precipitates in a series of multi-step annealed silicon samples. We have adopted Ham's theory of diffusion-limited precipitation. Then we have been able to determine concentration of the oxygen precipitates in the samples from decrease of Oi concentration during the high temperature annealing. We have also used triple-axis high-resolution x-ray diffraction to measure reciprocal space maps of these samples.
Czech name
Nukleace a precipitace intersticiálního kyslíku v Czochralského křemíku
Czech description
Ke studiu intersticiálního kyslíku a kyslíkových precipitátů v sérii vícestupňově žíhaných křemíkových vzorků jsme použili infračervenou absorpční spektroskopii. Převzali jsme Hamovu teorii difúzí řízené precipitace. Potom jsme mohli z úbytku koncentraceOi během vysokoteplotního žíhání stanovit koncentraci kyslíkových precipitátů ve vzorcích. Pro naměření map reciprokého prostoru těchto vzorků jsme použili trojosou rtg difrakci s vysokým rozlišením.

Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of The Tenth Scientific and Business Conference SILICON 2006
ISBN
80-239-7781-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
283-284
Publisher name
TECON Scientific, s.r.o.
Place of publication
Rožnov pod Radhoštěm, Česká republika
Event location
Rožnov pod Radhoštěm, Česká republika
Event date
Jan 1, 2006
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)