Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F07%3A00020900" target="_blank" >RIV/00216224:14310/07:00020900 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/49777513:23210/07:00000069

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Original language description

The aim of the present paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen. The diamond nucleation process was enhanced by RF induced dc self bias of minus 125 V. The interfacial fracture toughness substantially depended on the process of RF induced dc self-bias application. In case of samples when the RF induced dc self-bias was applied after the introduction of methane into the deposition mixture the interfacial fracture toughness was substantially higher becauseof creation of amorphous carbon intermediate layer between the silicon substrate and the nanocrystalline film.

Czech name

Studium mechanických vlastností NCD vrstev

Czech description

Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD) pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím v reaktoru typu ASTEX. Lomová houževnatost rozhraní vrstva substrát se ukázala být závislá na způsobu přiložení RF indukovaného stejnosměrného záporného předpětí. V případě vrstev, kdy toto předpětí bylo aplikováno až po zavedení metanu do depoziční směsi, vzorky měly podstatně vyšší lomovou houževnatost díky vytvoření amorfní uhlíkové mezivrstvy vylepšující adhezi vrstvy ke křemíkovému substrátu.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2007

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007

ISBN

978-80-969310-4-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

1-4

Publisher name

Liss a.s.

Place of publication

Rožnov pod Radhoštěm

Event location

Soláň, Rožnov pod Radhoštěm

Event date

Jan 1, 2007

Type of event by nationality

EUR - Evropská akce

UT code for WoS article

—