Characterization of optical thin films exhibiting defects

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14330%2F05%3A00013207" target="_blank" >RIV/00216224:14330/05:00013207 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Characterization of optical thin films exhibiting defects

Original language description

In this paper the mathematical formalism enabling us to include defects of thin films into the formulae expressing their optical quantities is presented. The attention is devoted to the defects consisting in boundary roughness and inhomogeneity corresponding to the refractive index profile. This mathematical formalism is based on 2x2 matrix algebra. The Rayleigh-Rice theory (RRT) is used for describing boundary roughness. The refractive index profile is included into the matrix formalism by means a special procedure based on combination of the Drude and Wentzel-Kramers-Brillouin-Jeffries (WKBJ) approximations. The mathematical formalism is applied for the optical characterization of thin films of TiO2 and As-S chalcogenides. Using this formalism the experimental data corresponding to the ellipsometric quantities, reflectance measured from the ambient side, reflectance measured from the substrate side and transmittance are treated. The corrections of the systematic errors connected with

Czech name

Charakterizace optických tenkých vrstev vykazující defekty

Czech description

V tomto článku je prsentován matematický formalismus umožňující zahrnout defekty tenkých vrstev do rovnic vyjadřujících jejich optické konstanty. Pozornost je věnována defektům sestávajícím se z drsnosti rozhraní a nehomogenity odpovídající profilu indexu lomu. Tento matematický formalismus je založen na 2X2 maticové algebře. Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro popis drsnosti rozhraní. Profil indexu lomu je zahrnut do maticového formalismu pomocí speciální metody založené na kombinaci Drudeho aWentzel-Kramers-Brillouin -Jeffries (WKBJ) aproximaci. Matematický formalismus je aplikován pro optickou charakterizaci vrstev TiO2 a As-S chalkogenidů. Použitím tohoto formalismu jsou zpracována experimentální data odpovídající elipsometrickým veličinám, odrazivosti měřené ze strany vnějšího prostředí, odrazivosti měřené ze strany podložky, a propustnosti. Opravy systematických chyb spojených s přístavkem pro měření odrazivosti v použitém spektrofotometru jsou provedeny prostřednictvím

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA203%2F05%2F0524" target="_blank" >GA203/05/0524: Photonics glasses and amorphous films</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Advances in Optical Thin Films II

ISBN

0-8194-5981-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

12

Pages from-to

—

Publisher name

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Place of publication

Bellingham, Washington, USA

Event location

September 13-15, 2005, Jena, Germany

Event date

Jan 1, 2005

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—