Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86380" target="_blank" >RIV/00216305:26210/09:PU86380 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
Original language description
Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků.
Czech name
Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
Czech description
Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JR - Other machinery industry
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2009
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
SEMDOK 2009
ISBN
978-80-8070-959-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
—
Publisher name
Neuveden
Place of publication
Sk
Event location
Žilina - Súĺov
Event date
Jan 29, 2009
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—