Optimization of preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F09%3A00332796" target="_blank" >RIV/68081723:_____/09:00332796 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216305:26210/09:PU86381

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku

Original language description

Tento článek popisuje novou metodou měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresníchvzorků. Experimenty byly prováděny na tenké vrstvě Al ? 1,5 hm.% Cu. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometrů a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mikrokompresních vzorků jakz hlediska požadované geometrie, tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. Úspěšně provedené kompresní zkoušky potvrdily vhodnost takto připravených vzorků pro mikrokompresní zkoušku.

Czech name

Optimalizace přípravy mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusvaného iontového svazku

Czech description

Tento článek popisuje novou metodou měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresníchvzorků. Experimenty byly prováděny na tenké vrstvě Al ? 1,5 hm.% Cu. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometrů a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mikrokompresních vzorků jakz hlediska požadované geometrie, tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. Úspěšně provedené kompresní zkoušky potvrdily vhodnost takto připravených vzorků pro mikrokompresní zkoušku.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JJ - Other materials

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2009

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Víceúrovňový design pokrokových materiálů - 2009. Sborník doktorské konference.

ISBN

978-80-254-6070-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

8

Pages from-to

—

Publisher name

Ústav fyziky materiálů AV ČR

Place of publication

Brno

Event location

Brno

Event date

Dec 3, 2009

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—