All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Device for silicon wafer analysis

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F12%3APR26504" target="_blank" >RIV/00216305:26210/12:PR26504 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Zařízení na analýzu křemíkových desek

  • Original language description

    Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).

  • Czech name

    Zařízení na analýzu křemíkových desek

  • Czech description

    Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).

Classification

  • Type

    G<sub>funk</sub> - Functional sample

  • CEP classification

    BM - Solid-state physics and magnetism

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

  • Continuities

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Others

  • Publication year

    2012

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Internal product ID

    SWA-OISF

  • Numerical identification

  • Technical parameters

    Polohování křemíkové desky s mikrometrovou přesností. Umožňuje snímat desky všech běžných velikostí (2 až 8 palců). Software dokáže snímat křemíkové desky všech vyráběných velikostí. Snímání lze nastavit přes průměr nebo na libovolné ploše. Defekty detekuje od velikosti 5px a umí rozlišit dva hlavní typy defektů. Umožňuje export do tabulkového editoru.

  • Economical parameters

    Náklady na výrobu byly 90 000Kč. Doba vývoje zařízení a software přesáhla několik set hodin. Zařízení využíváno firmou ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o., právní nástupce - výroba křemíku, výroba čipů 1. máje 2230, 756 61 Rožnov pod Radhoštěm, IČO:26821532 na základě smlouvy.

  • Application category by cost

  • Owner IČO

    00216305

  • Owner name

    ÚFI-odbor fyziky pevných látek a povrchů

  • Owner country

    CZ - CZECH REPUBLIC

  • Usage type

    N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

  • Licence fee requirement

  • Web page