Device for silicon wafer analysis
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F12%3APR26504" target="_blank" >RIV/00216305:26210/12:PR26504 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Zařízení na analýzu křemíkových desek
Original language description
Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).
Czech name
Zařízení na analýzu křemíkových desek
Czech description
Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Others
Publication year
2012
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
SWA-OISF
Numerical identification
—
Technical parameters
Polohování křemíkové desky s mikrometrovou přesností. Umožňuje snímat desky všech běžných velikostí (2 až 8 palců). Software dokáže snímat křemíkové desky všech vyráběných velikostí. Snímání lze nastavit přes průměr nebo na libovolné ploše. Defekty detekuje od velikosti 5px a umí rozlišit dva hlavní typy defektů. Umožňuje export do tabulkového editoru.
Economical parameters
Náklady na výrobu byly 90 000Kč. Doba vývoje zařízení a software přesáhla několik set hodin. Zařízení využíváno firmou ON Semiconductor Czech Republic, s.r.o., právní nástupce - výroba křemíku, výroba čipů 1. máje 2230, 756 61 Rožnov pod Radhoštěm, IČO:26821532 na základě smlouvy.
Application category by cost
—
Owner IČO
00216305
Owner name
ÚFI-odbor fyziky pevných látek a povrchů
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—