Calibration of the deflection field of the E-beam lithograph BS600 series using SEM mode
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU41293" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU41293 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM
Original language description
Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.
Czech name
Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM
Czech description
Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004
ISBN
80-239-2268-8
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
15-18
Publisher name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno
Place of publication
Brno
Event location
Brno
Event date
Jan 30, 2004
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—