All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Calibration of the deflection field of the E-beam lithograph BS600 series using SEM mode

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU41293" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU41293 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    čeština

  • Original language name

    Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

  • Original language description

    Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.

  • Czech name

    Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

  • Czech description

    Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.

Classification

  • Type

    D - Article in proceedings

  • CEP classification

    JA - Electronics and optoelectronics

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

  • Continuities

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Others

  • Publication year

    2004

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Article name in the collection

    Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004

  • ISBN

    80-239-2268-8

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Number of pages

    4

  • Pages from-to

    15-18

  • Publisher name

    Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno

  • Place of publication

    Brno

  • Event location

    Brno

  • Event date

    Jan 30, 2004

  • Type of event by nationality

    CST - Celostátní akce

  • UT code for WoS article